JEVAsys RGA-5H
Groupe de pompage de laboratoire pour l’analyse des gaz résiduels
Un groupe de pompage UHV compact pour le laboratoire : chambre à vide DN63CF avec porte-échantillon chauffant, système de pompage sans huile et analyseur de gaz résiduels dans un boîtier de table 19″.
Le RGA-5H est une installation type. Grâce à sa construction modulaire, la chambre, les pompes et les modules de mesure et de régulation s’adaptent à votre tâche. Le prix dépend des composants.
Vide limite
< 2·10-9 mbar
Chambre
DN63/40CF
Pompes
Scroll + turbo
Boîtier
19″, 6 U
Caractéristiques
- Chambre à vide DN63CF avec porte-échantillon chauffant intégré
- Composants pour le vide en acier inoxydable, à joints métalliques
- pompe scroll sans huile HiScroll 6 et pompe turbomoléculaire HiPace 80
- Analyseur de gaz résiduels SRS RGA200
- régulation de chauffage séparée pour les composants, le RGA et le porte-échantillon
- Mesure de pression avec ATMION et contrôleur de vide JEVAmet VCU
Caractéristiques techniques
| Enceinte | Double croix en acier inoxydable DN63/40CF, à joints métalliques |
|---|---|
| Vide primaire | Pompe scroll HiScroll 6 |
| Vide poussé | Pompe turbomoléculaire HiPace 80 |
| Mesure du vide | ATMION en standard ; en alternative JEVAmet IOS et PRM-16C |
| Affichage de pression | JEVAmet VCU-AM, en alternative VCU-BM |
| Vide limite | < 2·10⁻⁹ mbar (RGA éteint) |
| Commande | Commande du groupe de pompage à utilisation manuelle, circuits de chauffage avec thermostats numériques |
| Bâti | Boîtier de table 19″, 6 U, pompe primaire à placer librement |
| Raccordements | 230 VAC, 50 Hz ; azote pour la remise à l’air 0,1 à 0,5 bar de surpression |
| Poids | Boîtier de table avec groupe de pompage env. 40 kg, pompe scroll env. 19 kg |
Téléchargements
Est-ce adapté à votre installation ?
La bride, la profondeur de montage, la tension et le procédé déterminent la version. Nous clarifions avec vous et JEVATEC quelle variante convient, et nous procurons aussi des versions spéciales.