Mesure d’épaisseur de couche
Moniteurs à quartz, têtes de capteur et quartz de mesure
Lors de l’évaporation et de la pulvérisation, un quartz oscillant mesure la quantité de matière déposée : sa fréquence diminue à mesure que la couche croît. Le moniteur en calcule la vitesse de dépôt et l’épaisseur de couche.
Hositrad fournit toute la chaîne de mesure : moniteur, tête de capteur et quartz. Les quartz conviennent aussi aux têtes de capteur Maxtek, Inficon et Phelps.
Canaux
2
Résolution
0,1 ou 0,01 Hz
Interface
ModBus
Têtes de capteur
jusqu’à 300 °C
Caractéristiques
- Moniteur à quartz HOQM20 à deux canaux de mesure indépendants dans un boîtier compact
- Résolution au choix 0,1 ou 0,01 Hz
- ModBus pour le laboratoire et l’industrie, logiciel d’évaluation fourni
- oscillateur externe pour les grandes longueurs de câble
- Moniteur d’épaisseur de couche HTM260 avec mesure de température
- Têtes de capteur étuvables jusqu’à 300 °C ou en version plate jusqu’à 150 °C
- Quartz de mesure, compatibles aussi avec Maxtek, Inficon et Phelps
Caractéristiques techniques
| Moniteur HOQM20 | 2 canaux, résolution 0,1 ou 0,01 Hz, ModBus, logiciel compris |
|---|---|
| Option | oscillateur externe pour les grandes longueurs de câble |
| Moniteur HTM260 | Moniteur d’épaisseur de couche avec mesure de température |
| Têtes de capteur | étuvables jusqu’à 300 °C ; version plate jusqu’à 150 °C |
| Quartz de mesure | compatibles avec Maxtek, Inficon, Phelps, etc. |
Quelle version convient ?
La bride, le matériau, la plage de pression et le procédé déterminent la version. Nous le clarifions avec vous et Hositrad, et nous procurons aussi des fabrications spéciales sur plan.