Évaporateurs à faisceau d’électrons
e-Gun™ de Thermionics
Les évaporateurs à faisceau d’électrons produisent des couches homogènes de haute pureté et des revêtements optiques. Hositrad représente l’e-Gun™ de Thermionics, nous nous la procurons via Hositrad.
Le faisceau ne frappe que le matériau à évaporer dans le creuset refroidi par eau. La vapeur reste ainsi propre et l’environnement ne dégaze presque pas. On évapore aussi bien des matériaux réfractaires et diélectriques que des métaux et des semi-conducteurs.
Température
plus de 3 500 °C
Pression de base
jusqu’à 5·10⁻¹¹ mbar
Étuvable
jusqu’à 230 °C
Creusets
1, 3 ou 5
Caractéristiques
- Déviation du faisceau de 270° par un aimant permanent, filament protégé de la vapeur
- creuset refroidi par eau et mis à la terre
- Tache du faisceau d’environ 3 mm à env. 25 kW/cm²
- Faisceau guidé électromagnétiquement sur le matériau, manuellement ou automatiquement
- Sources à un, trois et cinq creusets ainsi que version à mouvement linéaire
- étanchéité tout métal, sans joints toriques
- pour la recherche et la production, aussi plusieurs sources sur une même bride
Caractéristiques techniques
| Principe | faisceau d’électrons auto-accéléré, filament en tungstène, déviation 270° |
|---|---|
| Température du matériau | plus de 3 500 °C |
| Tache du faisceau | env. 3 mm, env. 25 kW/cm² |
| Creuset | refroidi par eau, mis à la terre ; versions à 1, 3 ou 5 creusets |
| Pression de base | jusqu’à 5·10⁻¹¹ mbar |
| Étanchéité | étanchéité tout métal, étuvable jusqu’à 230 °C |
| Guidage du faisceau | électromagnétique, manuel ou automatique |
Quelle version convient ?
La bride, le matériau, la plage de pression et le procédé déterminent la version. Nous le clarifions avec vous et Hositrad, et nous procurons aussi des fabrications spéciales sur plan.