Elektronenstrahlverdampfer
e-Gun™ von Thermionics
Elektronenstrahlverdampfer erzeugen gleichmässige, hochreine Schichten und optische Beschichtungen. Hositrad vertritt die e-Gun™ von Thermionics, wir beschaffen sie über Hositrad.
Der Strahl trifft nur das Verdampfungsgut im wassergekühlten Tiegel. Deshalb bleibt der Dampf sauber, und die Umgebung gast kaum aus. Verdampft werden hochschmelzende und dielektrische Stoffe ebenso wie Metalle und Halbleiter.
Temperatur
über 3500 °C
Basisdruck
bis 5·10⁻¹¹ mbar
Ausheizbar
bis 230 °C
Tiegel
1, 3 oder 5
Merkmale
- Ablenkung des Strahls um 270° durch einen Permanentmagneten, Glühfaden vor dem Dampf geschützt
- wassergekühlter, geerdeter Tiegel
- Strahlfleck rund 3 mm bei etwa 25 kW/cm²
- Strahl elektromagnetisch über das Gut geführt, von Hand oder automatisch
- Ein-, Drei- und Fünftiegel-Quellen sowie Ausführung mit Linearbewegung
- ganzmetallgedichtet, ohne O-Ringe
- für Forschung und Produktion, auch mehrere Quellen auf einem Flansch
Technische Daten
| Prinzip | selbstbeschleunigter Elektronenstrahl, Wolfram-Glühfaden, 270°-Ablenkung |
|---|---|
| Temperatur am Gut | über 3500 °C |
| Strahlfleck | ca. 3 mm, ca. 25 kW/cm² |
| Tiegel | wassergekühlt, geerdet; Ausführungen mit 1, 3 oder 5 Tiegeln |
| Basisdruck | bis 5·10⁻¹¹ mbar |
| Dichtung | ganzmetallgedichtet, ausheizbar bis 230 °C |
| Strahlführung | elektromagnetisch, manuell oder automatisch |
Welche Ausführung passt?
Flansch, Werkstoff, Druckbereich und Prozess bestimmen die Ausführung. Wir klären das mit Ihnen und Hositrad und beschaffen auch Sonderanfertigungen nach Zeichnung.