JEVAsys RGA-5H
Laborpumpstand zur Restgasanalyse
Ein kompakter UHV-Pumpstand für das Labor: Vakuumkammer DN63CF mit beheizbarer Probenaufnahme, ölfreies Pumpsystem und Restgasanalysator in einem 19″-Tischgehäuse.
Der RGA-5H ist eine Beispielanlage. Dank modularem Aufbau lassen sich Kammer, Pumpen, Mess- und Regelmodule an Ihre Aufgabe anpassen. Der Preis richtet sich nach den Komponenten.
Endvakuum
< 2·10-9 mbar
Kammer
DN63/40CF
Pumpen
Scroll + Turbo
Gehäuse
19″, 6 HE
Merkmale
- Vakuumkammer DN63CF mit integrierter, beheizbarer Probenaufnahme
- Vakuumkomponenten aus Edelstahl, metallgedichtet
- ölfreie Scrollpumpe HiScroll 6 und Turbomolekularpumpe HiPace 80
- Restgasanalysator SRS RGA200
- getrennte Heizungsregelung für Komponenten, RGA und Probenaufnahme
- Druckmessung mit ATMION und Vakuumcontroller JEVAmet VCU
Technische Daten
| Rezipient | Edelstahl-Doppelkreuz DN63/40CF, metallgedichtet |
|---|---|
| Vorvakuum | Scrollpumpe HiScroll 6 |
| Hochvakuum | Turbomolekularpumpe HiPace 80 |
| Vakuummessung | ATMION standard; alternativ JEVAmet IOS und PRM-16C |
| Druckanzeige | JEVAmet VCU-AM, alternativ VCU-BM |
| Endvakuum | < 2·10⁻⁹ mbar (RGA ausgeschaltet) |
| Steuerung | Pumpstandsteuerung mit manueller Bedienung, Heizkreise mit Digitalthermostaten |
| Gestell | Tischgehäuse 19″, 6 HE, Vorvakuumpumpe frei aufstellbar |
| Anschlüsse | 230 VAC, 50 Hz; Stickstoff zum Fluten 0,1 bis 0,5 bar Überdruck |
| Gewicht | Tischgehäuse mit Pumpstand ca. 40 kg, Scrollpumpe ca. 19 kg |
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