Glas-KF-Komponenten
Glass-Vac® aus Borosilikat- oder Quarzglas
Vakuumbauteile mit KF-Flansch, ganz aus Glas: Hositrad fertigt sie selbst aus Borosilikatglas (Duran, Pyrex) oder aus Quarzglas.
In Plasmaätz- und CVD-Prozessen verschmutzen Bauteile aus Edelstahl oder Aluminium und lassen sich kaum mehr sauber bekommen. Glas hat keine Spalten und keine Schweissnähte, in denen Rückstände hängen bleiben, und lässt sich gründlich reinigen.
Werkstoff
Borosilikat oder Quarz
Anschluss
KF
Dichtung
PTFE-Zentrierring
Spannringe
ausheizbar ≥ 70 °C
Merkmale
- Halb- und Vollnippel, Blindflansche, T-Stücke, Kreuze und Winkel
- Borosilikatglas für die meisten Anwendungen, Quarzglas für hohe Temperaturen und UV
- ohne Spalten und Schweissnähte, dadurch gründlich zu reinigen
- für jede Vakuumanwendung und für chemische Prozesse geeignet
- verbunden mit ein- oder zweiteiligen Spannringen aus hochfestem Kunststoff
- Zentrierring aus PTFE mit O-Ring aus Viton oder Perbunan (NBR), Spannketten auf Anfrage
Technische Daten
| Bauformen | Halbnippel, Vollnippel, Blindflansch, T-Stück, Kreuz, Winkel |
|---|---|
| Glas | Borosilikatglas (Duran/Pyrex) oder Quarzglas |
| Anschluss | Kleinflansch KF |
| Zentrierring | PTFE mit O-Ring aus Viton oder Perbunan (NBR) |
| Spannringe | Kunststoff, ein- oder zweiteilig, ausheizbar bis mindestens 70 °C |
| Einsatz | Plasmaätzen, CVD, chemische Prozesse, allgemeine Vakuumtechnik |
Welche Ausführung passt?
Flansch, Werkstoff, Druckbereich und Prozess bestimmen die Ausführung. Wir klären das mit Ihnen und Hositrad und beschaffen auch Sonderanfertigungen nach Zeichnung.