Manipulatoren
XYZ-, XY- und Z-Manipulatoren, Dreh- und Kippstufen für UHV
Manipulatoren bewegen Proben, Sonden und Quellen im Vakuum präzise, ohne die Kammer zu öffnen. Hositrad fertigt sie für CF-Flansche von CF40 bis CF150.
Alle Verstellungen gibt es mit Mikrometerschrauben oder mit Schrittmotoren. Der Umbau von Hand auf Motor dauert laut Hositrad rund 15 Minuten und ist beim Kunden möglich.
Flansche
CF40 bis CF150
Hub XY
±12,5 oder ±25 mm
Kippung
±2° am Kopfflansch
Antrieb
manuell oder Motor
Merkmale
- XYZ-Manipulatoren HMA2000 (CF40), HMB1500 (CF63) und HMB2000 (CF100) mit grosser Bohrung
- XY-Tische HMC1000 (CF40), HMC1500 (CF63), HMC2000 (CF100) und HMC3000 (CF150)
- kompakte Z-Translatoren HBLT27S (CF40) und HBLT45S (CF63)
- Kopfflansch um ±2° kippbar, bei Hositrad Standard
- Sondenstationen mit Kreuzrollenführung auf allen Achsen, Auflösung 0,002 mm
- differenziell gepumpte Drehplattformen DPRF: 360° endlos, zwei Pumpstufen, Feintrieb mit Nonius 0,1°
- Kipptisch McTilt zum Ausrichten von Sonden auf einen Punkt in der Kammer
Technische Daten
| XYZ-Manipulatoren | HMA2000 (CF40), HMB1500 (CF63), HMB2000 (CF100); Kopfflansch ±2° kippbar |
|---|---|
| XY-Tische | HMC1000 (CF40), HMC1500 (CF63), HMC2000 (CF100), HMC3000 (CF150) |
| Hub XY | ±12,5 mm oder ±25 mm, kreisförmiger Verfahrbereich |
| Z-Translatoren | HBLT27S (CF40), HBLT45S (CF63) |
| Sondenstationen | Kreuzrollenführung auf X, Y und Z, Auflösung 0,002 mm, Z-Hub bis 50 mm |
| Drehplattformen | DPRF, 360° endlos, zwei differenziell gepumpte Stufen mit Fluorkarbon-Dichtungen, Kugellager, Schneckentrieb, Nonius 0,1° |
| Antrieb | Mikrometerschrauben oder Schrittmotoren, nachträglich umrüstbar |
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Welche Ausführung passt?
Flansch, Werkstoff, Druckbereich und Prozess bestimmen die Ausführung. Wir klären das mit Ihnen und Hositrad und beschaffen auch Sonderanfertigungen nach Zeichnung.