Schichtdickenmessung
Schwingquarz-Monitore, Sensorköpfe und Sensorquarze
Beim Bedampfen und Sputtern misst ein Schwingquarz, wie viel Material sich abscheidet: Seine Frequenz sinkt mit der aufwachsenden Schicht. Daraus berechnet der Monitor Rate und Schichtdicke.
Hositrad liefert die ganze Messkette: Monitor, Sensorkopf und Quarze. Die Quarze passen auch in Sensorköpfe von Maxtek, Inficon und Phelps.
Kanäle
2
Auflösung
0,1 oder 0,01 Hz
Schnittstelle
ModBus
Sensorköpfe
bis 300 °C
Merkmale
- Schwingquarz-Monitor HOQM20 mit zwei unabhängigen Messkanälen in kompaktem Gehäuse
- Auflösung wahlweise 0,1 oder 0,01 Hz
- ModBus für Labor und Industrie, Auswertesoftware im Lieferumfang
- externer Oszillator für lange Kabelwege
- Schichtdickenmonitor HTM260 mit Temperaturmessung
- Sensorköpfe ausheizbar bis 300 °C oder in flacher Bauform bis 150 °C
- Sensorquarze, passend auch für Maxtek, Inficon und Phelps
Technische Daten
| Monitor HOQM20 | 2 Kanäle, Auflösung 0,1 oder 0,01 Hz, ModBus, Software inbegriffen |
|---|---|
| Option | externer Oszillator für lange Kabelwege |
| Monitor HTM260 | Schichtdickenmonitor mit Temperaturmessung |
| Sensorköpfe | ausheizbar bis 300 °C; flache Bauform bis 150 °C |
| Sensorquarze | kompatibel mit Maxtek, Inficon, Phelps u. a. |
Welche Ausführung passt?
Flansch, Werkstoff, Druckbereich und Prozess bestimmen die Ausführung. Wir klären das mit Ihnen und Hositrad und beschaffen auch Sonderanfertigungen nach Zeichnung.